TGV基板関連装置ラインアップカタログ 4(4)

Cat.No:C2076Aこのカタログの記載内容は2026年4月現在のものです。◦仕様および外観、価格は、改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。◦製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。◦価格には、消費税が含まれておりません。◦記載されている会社名、製品名およびロゴは、当社または各社の商標および登録商標です。本文中に「TM」、「Ⓡ」は記載しておりません。筑波(029)852-3411川崎(044)540-3751北陸(076)443-8603＜国内営業・サービス拠点＞＜海外拠点＞お問い合わせは、信用とサービスの行き届いた当店へ埼玉(048)642-2569横浜(045)828-1631京滋(075)343-7201千葉(043)241-7085厚木(046)224-6911関西(06)6101-3112札幌(011)204-6780東京(03)5827-3525長野(026)291-6001広島(082)221-0921仙台(022)216-5701静岡(054)653-0510山口(083)974-4760前橋(027)280-4650東京西(042)352-3211名古屋(052)202-3051福岡(092)263-7550Copyright©YamatoScientificCo.,Ltd.AllRightsReserved.お客様総合サービスセンター0120-405-525受付時間9:00〜12:00、13:00〜17:00土日祝除くヤマト科学ウェブサイトwww.yamato-net.co.jpメールでのお問い合わせは、ヤマト科学ウェブサイトより受付しております注意本カタログに掲載された製品の仕様・性能数値は、一般的な使用条件における、ユーザーガイドとして提示しています。ご使用の際は、取扱説明書の内容をご理解いただき、正しくご使用ください。取扱説明書の記載使用条件を外れて使用され、人的・物的損害が発生しても、当社はその責任を負いかねますのでご注意ください。本社〒104-6136東京都中央区晴海1-8-11晴海トリトンスクエアY棟36階上海広州長沙重慶西安北京瀋陽サンノゼデュッセルドルフ製造均一なクリーニング・親水化処理で歩留まり向上● 卓上型の平行平板型で、基礎研究・評価に最適● DP/RIEモード切替により処理方法を選定可能プラズマ装置PDCシリーズヤマト科学価格¥8,590,000（税抜）～量産時のTGV基板の乾燥● 最高温度500℃、残存酸素濃度10ppm以下を実現● 520㎜角基板をそのまま投入が可能な庫内サイズクリーンイナートオーブンDTH630Iヤマト科学価格別途お問い合わせください真空プロセスなしでガラス表面をクリーニング● 真空プロセスを必要としないためインライン化が容易● 多彩なノズル形状で点から面での処理が可能大気圧プラズマ装置APシリーズAETP価格¥5,000,000（税抜）～微細化・3D実装における信頼性向上の実現● 微細な気泡を加圧と加熱によって除去● 優れた温度分布によりアンダーフィル硬化のバラツキを低減自動加熱加圧処理装置ACS-650チヨダエレクトリック価格¥15,328,000（税抜）～Q&ATGV関連装置Q. 本カタログに掲載されている製品以外で、TGVの評価に活用できる装置にはどのようなものがありますか？A. ガラス表面やビア周辺のナノレベルでの表面粗さ評価の1つとして原子間力顕微鏡（AFM）、TGV構造の残留応力や機械特性の評価の1つとしてナノインデンターなどが挙げられます。これらの装置のデモを希望される場合は、ヤマト科学までお問い合わせください。