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6ZPureGlass （インジケーター搭載ガラス製ガス精製フィルター）除去対象物質容量cc除去容量(標準-最大)性能ppb最大圧力psi(MPa)流量(標準-最大)mL/min本体サイズcm接続サイズ接続金具材質PartNo.価格ZPure™GlassPolyGasIインジケーター：O2:緑から灰色,H2O:青から薄茶色,HC:なし酸素(O2)/水分(H2O)/炭化水素(HC)38O2:80ccH2O:1.4gHC:1.0gO2<5H2O<20HC<5160 (1.10)200-4003.8x26.31/4"ステンレス202315-SS¥23,200真鍮202315-B¥20,1001/8"ステンレス202314-SS¥23,200真鍮202314-B¥20,100ZPure™GlassPolyGasIIインジケーター：H2O:青から薄茶色,HC:なし水分(H2O)/炭化水素(HC)38H2O:1.9gHC:1.8gH2O<20HC<5160 (1.10)200-4003.8x26.31/4"ステンレス202319-SS¥21,900真鍮202319-B¥18,9001/8"ステンレス202318-SS¥21,900真鍮202318-B¥18,900ZPure™GlassH2OHSMIインジケーター：H2O:青から薄茶色HSMI【Highsensitivitymoistureindicator:高感度水分インジケーター搭載】水分(H2O)46H2O:6gH2O<20160 (1.10)200-20003.8x26.31/4"ステンレス202284-SS¥25,100真鍮202284-B¥19,4001/8"ステンレス202283-SS¥25,100真鍮202283-B¥19,400ガス精製フィルター取付キットスタンダードフィルター取付キット（ZPureGlass38cc&46ccに適合）205705¥1,400ガス精製フィルター取付キットZPure™GlassH2OHSMIZPure™GlassPolyGasIIZPure™GlassPolyGasI
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7ZPure™M （超大容量ガス精製フィルター）ZPureMガス精製フィルターは3,800ccの大容量で除去容量が大きく、かつ大流量で使用できます。形状は円筒形で316ステンレス製、接続部分は1/2”VCRと 1/4”コンプレッションフィッティング接続を採用しています。ZPureMフィルターには、炭化水素、水分、酸素/水分フィルターおよびPolyGasIIの除去タイプを用意しています。推奨アプリケーションZPure™M不活性ガス、He、Ar、N2、H2をより大容量で精製することができます。汚染物質を含まない高純度ガスを必要とするあらゆるアプリケーションに推奨します。 とくに半導体用途で多く採用されています。ZPureM （超大容量ガス精製フィルター）除去対象物質容量cc除去容量(標準-最大)性能ppb最大圧力流量(標準-最大)mL/min本体サイズcm接続サイズ接続金具材質PartNo.価格ZPure™MPolyGasII不活性ガス,Air,N2は150psi(1.03MPa)H2,O2は80psi(0.55MPa)水分(H2O)/炭化水素(HC)3,800H2O:180-281gHC:159-530gH2O<20HC<530,000-100,00010x641/4"ステンレス202288M-SS¥370,600ZPure™MO2/H2O酸素(O2)/水分(H2O)3,800O2:8,100-13,658ccH2O:129-196gO2<5H2O<2014,000-40,00010x641/4"ステンレス202296M-SS¥395,700ZPure™MH2O水分(H2O)3,800H2O:369-640gH2O<2030,000-200,00010x641/4"ステンレス202231M-SS¥332,900ZPure™MHC炭化水素(HC)3,800HC:327-1,060gHC<530,000-200,00010x641/4"ステンレス202233M-SS¥332,900※ZPureMの重量は約10.5㎏
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