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04測定手順1評価用サンプルを作成しますメタライズ基板に、TEGチップを貼り付け評価用サンプルを作成します。高温測定になりますので、温度耐久のある銀ペーストなどを使用し、TEGチップに電力を供給するためのワイヤーも取り付けます。評価用のサンプル（例）30mm30mmメタライズ基板の寸法についてTEGチップのヒーターとプローブに電力供給するため、4つの端子が下図のように配備しています。サンプルセットの手順について評価用のサンプルのセット方法についての手順を動画にて公開しています。ご参考ください。電力供給用ワイヤー（2極対)メタライズ基板（評価用サンプル）デバイス接合（銀ペーストなど）SiCmicroheaterchip(TEGチップ)動画にて公開動画にて公開TEGチップの温度安定性能についてTEGチップの温度安定性を、異なる入力電圧の違いから評価をおこないました。高温側においても安定した温度を保つことが確認できています。No.入力[W]平均[℃]分散標準偏差1266.9161.00.00790.0892196.3123.90.00460.0683130.590.20.01240.111472.861.60.00970.098
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05測定結果（例）測定条件を「TEGチップの加熱温度を4パターン×4回測定」とし、16個の熱抵抗値測定値をグラフ化した例を示します。0.3mmCu/0.32mmSi₃N₄/0.3mmCu0.3mmCu/0.64mmSi₃N₄/0.3mmCu0.3mmCu/0.64mmAlN/0.3mmCu◦ グラフより繰り返し測定の再現性が良いことが確認できます。◦ 各々異なった条件のサンプルを測定し、それぞれ安定した熱抵抗値の測定を確認することができました。Sample材質厚さ（mm）熱抵抗値（K/W）A-1Si₂N₄0.320.49A-2Si₂N₄0.640.57BAIN0.640.47SampleA-1SampleA-2SampleB2サンプルを計測部にセットします評価用サンプルをアタッチメントとTIM(グリースなど)を用いて、計測部側の所定の位置にセットします。3測定を開始します専用のソフトウェアにて測定を実施します。簡単にサンプルの熱抵抗値が測定できます。また、装置機能を集中管理します。計測部測定用ソフト画面 簡単な操作性のソフトウェアが搭載されています。 操作画面は「設定」「測定」「結果」「HELP」のシンプル構成です。 TEGチップの加熱や、冷却チラーの冷却を管理しています。測定画面設定画面結果画面
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