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04● 極微量不純物分析から、高排気能力を活かした高濃度ガス分析まで可能● 電池・金属材料などの評価に重要な水素・無機ガスを同時分析● 前処理装置に接続して材料の加熱発生ガス評価が可能ガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセス● AIと高分解能で得られる高精度な定性情報を統合した自動構造解析● 質量の近い成分(N₂とCOなど)を高分解能で分離・検出し、各成分量を評価● 前処理装置に接続して材料の加熱発生ガス評価が可能ガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセスガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセスガスクロマトグラフ四重極質量分析計JMS-Q1600GCUltraQuad™SQ-Zeta日本電子価格は別途お問い合わせください。極微量ガスの定性・定量・モニタリング高性能ガスクロマトグラフ飛行時間質量分析計JMS-T2000GCAccuTOF™GC-Alpha日本電子価格は別途お問い合わせください。高精度な定性能力とAIを用いた自動解析● 高純度のフッ化水素、臭化水素、塩素のオンライン分析が可能 ● 独自開発したメソッドで半導体特殊ガス中の無機ガス成分をppbレベルで測定可能 ● プロセス用特殊半導体ガスオンラインアナライザも同時販売特殊半導体ガス分析装置LabGCWasson-ECEInstrumentation¥40,000,000（税抜）〜フッ化水素、臭化水素、塩素ガス中の不純物分析フッ化水素中の不純物測定結果です。このグラフは微量の無機ガス成分にも優れた分離能があることを示しており、一般的に難しいとされるAr（ピーク3）とO₂（ピーク4）の分離も可能です。AI構造解析による未知物質の同定から既知物質の迅速探索まで網羅します。COとN₂を分離するのに十分な質量分解能と良好なピーク形状が得られています。高精度ガスバルブとパックドカラムを使用し、混合ガス中の極微量成分（ppb）を分離・検出することで水素や無機ガスの定性・定量分析が可能です。様々なバランスガスで、ヘリウム中の水素や無機ガス類（ppmオーダー）についてガス量の変動を評価できます。
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05● 光学強化型デザインにより、従来のFTIRガスアナライザーの10～50倍高いS/N比を実現 ● リアルタイムガス測定に有用な自動バックグラウンド測定機能 ● 定期的な再校正不要、最小のメンテナンスを実現ガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセス● 省スペース設計、機器の持ち運び、重ね合わせも可能 ● ハステロイ製フローセルによるインラインガス測定 ● 定期的な再校正不要、最小のメンテナンスを実現ガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセス● 多様なガス成分に対応（CO、CO₂、CH₄、N₂O、NO、NOx、SO₂、NH₃、O₂） ● 最大4成分を1台で連続測定 ● ppmオーダーから%オーダーまで1台で測定をカバーガス分析装置その他化学分析環境半導体製造食品・化粧品石油プロセス超高感度FT-IRガスアナライザーMAX-iRサーモフィッシャーサイエンティフィック¥13,500,000（税抜）〜%～pptを実現するマルチガスアナライザープロセスラマンシステムMarqMetrixAll-in-Oneサーモフィッシャーサイエンティフィック¥13,500,000（税抜）〜インラインガス計測に最適なコンパクトラマンマルチガス分析計VA-5000シリーズ堀場製作所¥1,500,000（税抜）〜ワイドレンジで幅広いニーズに対応CO₂分離回収用の分離膜の研究開発では、供給ガスと膜分離されたガスのCO₂濃度を同時に測定することで、膜の選択性・透過性の評価に役立ちます。触媒反応前後のアンモニア濃度を連続モニタリングし、アンモニア合成・分解触媒の性能を評価します。複数の触媒反応を1台で同時に測定できます。フローセルを用いた天然ガス、水素、アンモニア、CO₂、メタンのインライン不純物測定が可能水素のオルト・パラ比の計測、工業規模での水素の製造と貯蔵に不可欠なオルト水素からパラ水素への変換をモニタリングできます。9.86mガスセル内蔵、パージ性の高い光学系と安定性に優れた干渉計デザインを採用し、長時間測定においても再現性の良いガス計測を実現します。MAXAcquisitionソフトウェアは装置の状態、各ガス成分のトレンドやアラートなど多様なガスモニタリングニーズをサポートします。
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