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高精度な高抵抗、電圧、電流、静電容量の計測を一台で完結アプリケーション● 材料科学 生体材料、セラミックス、ゴム、フィルム、誘電体材料、電気化学材料、強誘電体材料、グラフェン、金属、有機材料、ナノ材料、ポリマー、半導体など● 電子部品 キャパシタ、抵抗器、ダイオード、センサー、TFTやCNTなどのトランジスタ、光電デバイス、太陽電池など● 電子/非電子システム イオンビーム、電子ビーム、センサーシステム、粒子計測、組込み精密機器など表面抵抗Rsと表面抵抗率ρsの測定ガードリング電極に電圧源Vsを印加し、試料表面の電流をガード電極から主電極に流し、表面電流をImとします。表面抵抗Rsは、Rs=Vs/Imの式で計算できます。体積抵抗Rv、体積抵抗率ρvの測定上部電極に電圧源Vsを印加し、試験試料に流れる大電流をImとし、Rv=Vs/Imの式で体積抵抗Rvを算出します。TH2690シリーズは0.01fA電流測定分解能と1000PΩの抵抗値測定で材料特性の研究やデバイスの性能判定における多様な測定ニーズに対応可能です。５インチのタッチスクリーンで背景の詳細を確認し直感的な操作も可能です。0.01fAの電流測定分解能5インチタッチスクリーンリアルタイムで自動スケーリングされたヒストグラム表示を備えており、測定後のデータ処理の必要なく、タイムリーに測定設定を調整することができます。ヒストグラム表示
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TH2690シリーズ仕様型式TH2690TH2690ATH2690Hディスプレイ5インチ静電容量タッチスクリーン分解能6½桁電流測定レンジ確度分解能確度分解能確度分解能2pAｰｰｰｰ±(1%+5fA)0.01fA20pA±(1%+5fA)0.1fAｰｰ±(1%+5fA)0.1fA200pA±(0.5%+5fA)0.1fAｰｰ±(0.5%+5fA)0.1fA2nA±(0.2%+50fA)1fA±(0.2%+50fA)1fA±(0.2%+50fA)1fA20nA±(0.2%+3pA)10fA±(0.2%+3pA)10fA±(0.2%+3pA)10fA200nA±(0.2%+5pA)100fA±(0.2%+5pA)100fA±(0.2%+5pA)100fA2μA±(0.1%+50pA)1pA±(0.1%+50pA)1pA±(0.1%+50pA)1pA20μA±(0.05%+500pA)10pA±(0.05%+500pA)10pA±(0.05%+500pA)10pA200μA±(0.05%+5nA)100pA±(0.05%+5nA)100pA±(0.05%+5nA)100pA2mA±(0.05%+50nA)1nA±(0.05%+50nA)1nA±(0.05%+50nA)1nA20mA±(0.05%+500nA)10nA±(0.05%+500nA)10nA±(0.05%+500nA)10nA抵抗測定レンジ確度分解能確度分解能確度分解能1MΩ±(0.135%+1Ω)1Ω±(0.135%+1Ω)1Ω±(0.135%+1Ω)1Ω10MΩ±(0.135%+10Ω)10Ω±(0.135%+10Ω)10Ω±(0.135%+10Ω)10Ω100MΩ±(0.185%+100Ω)100Ω±(0.185%+100Ω)100Ω±(0.185%+100Ω)100Ω1GΩ±(0.285%+1kΩ)1kΩ±(0.285%+1kΩ)1kΩ±(0.285%+1kΩ)1kΩ10GΩ±(0.41%+10kΩ)10kΩ±(0.41%+10kΩ)10kΩ±(0.41%+10kΩ)10kΩ100GΩ±(0.41%+100kΩ)100kΩ±(0.41%+100kΩ)100kΩ±(0.41%+100kΩ)100kΩ1TΩ±(0.45%+1MΩ)1MΩ±(0.45%+1MΩ)1MΩ±(0.45%+1MΩ)1MΩ10TΩ±(0.75%+10MΩ)10MΩｰｰ±(0.75%+10MΩ)10MΩ100TΩ±(2.6%+100MΩ)100MΩｰｰ±(0.75%+100MΩ)100MΩ1PΩｰｰｰｰ(2.6%+1GΩ)1GΩレンジ電流レンジ電圧ソース電流レンジ電圧ソース電流レンジ電圧ソース1MΩ200µA20V200µA20V200µA20V10MΩ20µA20V20µA20V20µA20V100MΩ2µA20V2µA20V2µA20V1GΩ200nA20V200nA20V200nA20V10GΩ20nA20V20nA20V20nA20V100GΩ2nA20V2nA20V2nA20V1TΩ2nA200V2nA200V2nA200V10TΩ200pA200Vｰｰ200pA200V100TΩ20pA200Vｰｰ20pA200V最小測定可能抵抗100PΩ1000TΩ1000PΩチャージ測定（インジケータは1秒以内に有効）レンジ確度分解能ｰ確度分解能2nC±(0.5%+50fC)1fCｰ±(0.5%+50fC)1fC20nC±(0.5%+500fC)10fCｰ±(0.5%+500fC)10fC200nC±(0.5%+5pC)100fCｰ±(0.5%+5pC)100fC2µC±(0.5%+50pC)1pCｰ±(0.5%+50pC)1pC
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