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04観察装置日立ハイテクナノ3D光干渉計測システムVS1800¥18,160,000（税抜）〜◦ サブナノレベルの粗さ評価…レーザ顕微鏡を凌駕する垂直分解能での3D粗さ計測◦ 層断面解析…非破壊での透明フィルム多層膜の各層膜厚、異物深さ評価◦ 他の解析手法との親和性…AFMとの座標リンケージによる相互クロスチェックを実現特徴「広範囲のサブナノ粗さ計測」と「非破壊層断面解析」を実現したCSIシリーズレンズ倍率の影響を受けない垂直分解能層断面解析機能で、非破壊のフィルム多層膜・異物深さ解析低倍率から高倍率まで、安定した分解能での測定フィルム切断不要、非破壊測定によるスループット向上非破壊でフィルム多層膜の総厚/各層厚・異物深さの解析が可能2mm角ガラスに形成された3nmの薄膜断面を測定した事例。レンズ倍率が変わっても最高0.01nmという高い垂直分解能での測定が可能です。レーザ顕微鏡が苦手とする広範囲における高分解能測定に効力を発揮します。粘着シートの各層厚みと、粘着剤残りの原因となる不都合な場所に存在する気泡の存在を層断面解析を用いることで非破壊で解析した事例。日立ハイテク電界放出走査電子顕微鏡（ColdFE-SEM）SU8600¥74,000,000（税抜）〜◦ 高輝度・高コントラス・低加速高分解能(0.7nm@1kV）の世界最高クラスの観察性能を実現◦ Cold-FE電子源を搭載し、極低加速電圧から高加速電圧で(0.01kV～30kV)高いパフォーマンスを発揮◦ 加熱対物可動絞り、NEGポンプ等採用で、高性能を低ランニングコストで維持可能特徴高輝度コールドFE電子銃により低エネルギー条件でも高い分解能を実現高分子材料であるアイオノマーと、担体カーボン粒子は共に軽元素同士であるため、SEM観察ではコントラストが付きづらいことが課題です。図1(a)は二次電子(SE)像で凹凸情報を捉えられており、全体的に担体カーボン粒子が凝集した構造が観察されています。図1(b)はエネルギーフィルタを使用して取得した反射電子(BSE)像で、組成情報を捉えられており一部の領域(黄色矢印で例示)が明るく観察されています。担体カーボン粒⼦⽩⾦触媒アイオノマー燃料電池用触媒の模式図図1燃料電池用触媒のSEM像照射電圧：300V,倍率：10kx,信号：(a)SE(Upper検出器),(b)BSE(Top検出器)（a）2µm
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05観察装置ヤマト科学原子間力顕微鏡(AFM)CypherL+¥22,900,000（税抜）〜◦ blueDriveタッピングAFMにより、安定かつ高精度な測定を実現◦ 計測誤差を極限まで小さくする低ノイズClosed-Loopスキャナ標準装備◦ 電気測定、表面電位、液中測定など様々な測定モードに対応（オプション）特徴高速、高感度、高精度測定を実現したAFMblueDriveタッピングAFMで高速イメージングした結果です（256×256、10Hz）。26秒という短時間で測定が完了します。256秒の測定結果と遜色ない結果が得られます。モアレおよびスーパーモアレパターンが観察されています。カラースケールは±15nA。＊イメージ提供：カリフォルニア大学サンタバーバラ校AndreaYoungグループポリスチレン/低密度ポリエチレンhBN基板上の3層グラフェンコンダクティブAFM（CAFM）日立ハイテク多機能プローブ顕微鏡システムAFM100¥13,850,000（税抜）〜◦ サブナノレベルの粗さ評価…光学測定器では不可能な微細形状の3D粗さ計測◦ 各種物性評価…SEMでは不可能な電磁気物性・機械物性などのナノ物性評価◦ 他の解析手法との親和性…AFMマーキング機能によりAFMと同一視野のSEM-EDS評価を実現特徴「スループットの向上」と「検出感度の向上」を追求したAFMシリーズカンチレバー破損やカンチレバー固定位置ずれによるレーザーアライメントの手間、Qカーブが上手く検出されない事象が利用者の作業性を妨げていました。プリマウントレバー方式は、これらの問題を解決します。【従来一般カンチレバー】【プリマウント方式カンチレバー】広域AFM像の中から、複数の計測箇所を任意に設定し、自動測定します。マイカ基板上に低密度で分散させたセルロースナノファイバー(CNF)を、広域画像をAFMデータ取得したのちに、オートパイロット機能で自動多点測定を行った事例。Easy＆Safetyデモ機保有
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