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04観察装置日立ハイテク電界放出走査電子顕微鏡（ColdFE-SEM）SU8600¥74,000,000（税抜）〜◦ 高輝度・高コントラス・低加速高分解能(0.7nm@1kV）の世界最高クラスの観察性能を実現◦ Cold-FE電子源を搭載し、極低加速電圧から高加速電圧で(0.01kV～30kV)高いパフォーマンスを発揮◦ 加熱対物可動絞り、NEGポンプ等採用で、高性能を低ランニングコストで維持可能特徴高輝度コールドFE電子銃により低エネルギー条件でも高い分解能を実現高分子材料であるアイオノマーと、担体カーボン粒子は共に軽元素同士であるため、SEM観察ではコントラストが付きづらいことが課題です。図1(a)は二次電子(SE)像で凹凸情報を捉えられており、全体的に担体カーボン粒子が凝集した構造が観察されています。図1(b)はエネルギーフィルタを使用して取得した反射電子(BSE)像で、組成情報を捉えられており一部の領域(黄色矢印で例示)が明るく観察されています。担体カーボン粒⼦⽩⾦触媒アイオノマー燃料電池用触媒の模式図図1燃料電池用触媒のSEM像照射電圧：300V,倍率：10kx,信号：(a)SE(Upper検出器),(b)BSE(Top検出器)（a）2µm試料ホルダΦ15mm×33個4×3の撮影領域5mm5mm20mm◦ 新型光学系により、5kV以下の低加速電圧でも綺麗な像取得が可能◦ 大型/重量試料に対応した300mmΦ大型ステージ搭載（最大搭載可能丈量：5kg）◦ オート調整のアルゴリズム改良により待ち時間1/3以下、高スループットでデータ取得特徴日立ハイテク走査電子顕微鏡SU3900¥34,000,000（税抜）〜Φ300mmチャンバーの大型汎用SEM複数領域の自動異物解析が可能です。Φ15mmの試料台を33個搭載し自動粒子解析が可能です。LPレコードを前処理することなく非破壊で観察する事が可能です。全396視野を約3時間で自動撮像
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05観察装置ヤマト科学原子間力顕微鏡(AFM)CypherL+¥27,000,000（税抜）〜◦ blueDriveタッピングAFMにより、安定かつ高精度な測定を実現◦ 計測誤差を極限まで小さくする低ノイズClosed-Loopスキャナ標準装備◦ 電気測定、表面電位、液中測定など様々な測定モードに対応（オプション）特徴高速、高感度、高精度測定を実現したAFMblueDriveタッピングAFMで高速イメージングした結果です（256×256、10Hz）。26秒という短時間で測定が完了します。256秒の測定結果と遜色ない結果が得られます。モアレおよびスーパーモアレパターンが観察されています。カラースケールは±15nA。＊イメージ提供：カリフォルニア大学サンタバーバラ校AndreaYoungグループポリスチレン/低密度ポリエチレンhBN基板上の3層グラフェンコンダクティブAFM（CAFM）デモ機保有平面図(高さ分布)鳥瞰図(高さ分布)測定結果小坂研究所微細形状測定機ET200Aシリーズ¥5,700,000（税抜）〜◦ 段差再現性1σ0.3nm以内を実現◦ 測定の触圧が10～500µN（1～50mgf)の直動式検出器を搭載◦ 微小測定力なため軟質試料面に対応特徴段差測定に最適な高精度・高分解能・優れた安定性を実現紙・フィルム等の軟材料表面の高さ分布も測定可能です。それ以外にも光学機器が一般的に苦手とするガラスやフィルム等の透過物、セラミック等の多孔質材黒色素の吸光材質、赤色素等のレーザとの相殺色彩材質も測定可能です。デモ機保有測定条件測定サンプル ◦名刺の印刷文字「Yamato」名刺ロゴ部分のインク厚み ◦撮影範囲：10×3mm ◦X軸ピッチ：2um ◦Y軸ピッチ：5um ◦測定力：100uN
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