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マスフローコントローラー FLOWMETER■コンパクト＆ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラーです。■改良型定電流温度差検出方式の流量センサを搭載し、高速応答を実現。■安全方向動作のノーマリクローズバルブを採用。■低差圧仕様もあります（オプション）。商品コード区分型式流量レンジ①耐圧価格（円）65-08316MODEL366010～500ml980kPa104,00065-08326MODEL36601～5L104,00065-08336MODEL366010～20L104,000①流量レンジは設定できる最大流量レンジです。ご注文の際はこのレンジ内で、最大流量をご指定下さい。流量レンジ（N₂換算）10SCCM～20SLM制御範囲2～100％F.S.精度±1.0％F.S.（25℃）動作差圧5SLM以下：50～300kPa 5SLM以上：100～300kPa許容周囲温度5～45℃接ガス部材質ボディ：SUS316・SUS316L・磁性ステンレス バルブシート・シール材：FKM（オプション：CRorNBR）継手標準：1/4SWL※流体名Air、N₂、O₂、Ar、CO₂、H₂、Heよりご指定下さい（その他のガス種につきましてはお問合せ下さい）。※上記規格以外は別途お見積りになります。※電源ユニットは別途ご購入下さい。コンパクトリードアウトユニットCR-400をおすすめします。コンパクトリードアウトユニットFLOWMETER■マスフローコントローラー、マスフローメーターとケーブル１本で接続することで、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能をお使い頂けるようになる便利なユニット。■外部制御端子を背面に装備し、遠隔操作も可能。商品コード区分型式品名価格（円）65-08206CR-400リードアウトユニット96,80065-08197CP-STD1-1mケーブル1m8,800マスフロー制御機能流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカットマスフロー入出力DC0～5Vマスフロー供給電源±15VDC（300mA）表示桁瞬時流量：4桁、積算流量：8桁（上位・下位4桁毎切替）表示精度±0.1％F.S.±1digit以内（瞬時）外部制御機能背面入力端子：アナログ信号、RS-485（半二重）消費電力約25W電源AC85〜264V48〜440㎐外寸法・重量W73×D119.5×H73mm・約400g※一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できないものがございます。3660シリーズ以外のマスフロー、及び他社製品との接続に関しては、事前にご確認下さい。表示器付ローコストマスフローメーターMASSFLOWMETER■表示器一体型で各種機能使用可能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか）■アナログ出力4-20mA/1-5VDC選択可能②、積算パルス出力あり■ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能商品コード区分型式ニードルバルブ①価格（円）65-006463810DSⅡ-O無（O）62,00065-006563810DSⅡ-V 有（V） ※183,000※価格は流量レンジ500SCCM〜50SLMでの価格になります。ご注文時に最大流量をご指定下さい。その他の規格は別途お見積りになります。センサ方式熱式センサ対象流体④N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂流量レンジ（N₂換算）⑤10SCCM～100SLM測定精度（at25℃）±2％F.S.以内（10SCCM〜20SLM） ±3％F.S.以内（21〜100SLM）入力最大圧0.5MPa（G）耐圧1.0MPa（G）接ガス部材質ボディ：SUS303、PTFEシール材：FKM オプション：（NBR、CR）継手標準：Rc1/4電源DC24V±5％ 100mAアラーム出力数NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格：DC30V 50mA許容周囲温度0～＋50℃※1ニードルバルブ有の場合のみ、⑥入力圧力と⑦出力圧力の指定が必要です。注文方法3810DSⅡ❶❷VOVIRc1/4V：ニードルバルブ有O：ニードルバルブ無V：電圧出力1-5VI：電流出力4-20mA❸❹❺❻❽❼継手入口圧流 体校正温度出口圧流 量■ACアダプタ商品コード区分型式価格（円）65-00666PSK-3810DSⅡ24,200関連マーク1042マークの詳細はP.903をご覧下さい計測機器流量計・圧力計FlowMeter,PressureGauge56電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ流量計・圧力計融点測定装置
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マスフローコントローラー カスタムユニットFLOWMETER特 長■マスフローコントローラー（SEC-E40/SEC-E50）とコンパクト制御ユニットを一体にした卓上型ユニット。■パネルキーで簡単操作。AC100V電源と配管接続ですぐに使用可能。■マスフローコントローラーは外付けのため、使用環境・試験条件の変更に合わせて 簡単に取り換え可能。商品コード区分型式最大流量価格（円）65-09357CU-2130-SEC-E40-500SCCM-4IS-N2500SCCM169,50065-09367CU-2130-SEC-E40-1SLM-4IS-N21SLM169,50065-09377CU-2130-SEC-E40-5SLM-4IS-N25SLM169,50065-09387CU-2130-SEC-E40-10SLM-4IS-N210SLM169,50065-09397CU-2130-SEC-E50-20SLM-4IS-N220SLM208,000ガス種N₂継手1/4"Swagelock外寸法W106×D200×H205mm（取手、ケーブル接続時）電源AC100V～240V50/60㎐※窒素以外のガスに関しましてはお問合せ下さい。ガスフローメーターFLOWMETER特 長■1200㎖/minまでの幅広い測定レンジ。■体積流量計の為、ガス種を選択する必要がありません。混合ガスの測定も可能。■オートパワーオフ機能付。商品コード区分型式測定可能ガス価格（円）65-04546 GF1010N₂、Air、He、Ar、H₂等※98,000測定範囲0.5～1200㎖/min測定精度±3%または±0.3㎖/minの大きい方（校正ガス：N₂）外寸法W76×D135×H35mm（突起部含まず）電源単3アルカリ乾電池2個※腐食性ガスと加湿ガス（水蒸気等）を除く。小型デジタルマスフローコントローラー/メーターFLOWMETER特 長■コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。■高速応答で優れたゼロ点安定性。■電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。■ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能（流量はN₂ガスとの比による計算値）。■RS485通信機能を標準装備。商品コード区分品名型式価格（円）65-08416マスフローコントローラーEX-250SC165,00065-08426マスフローメーターEX-250SM143,000型式EX-250SCEX-250SM対象ガス※1N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂（記載のないガスはN₂換算）流量レンジ※25SCCM～10SLM制御範囲2～100%F.S.精度±1.0%F.S.動作差圧50～300kPa（Ar、CO₂：100～300kPa）−耐圧980kPa接ガス部材質SUS316、SUS316L、磁性ステンレス（EX-250SCのみ）、PTFE、FKE流量設定入力信号※30～5VDC（入力インピーダンス約1MΩ）または4～20mA（入力インピーダンス約250Ω）−流量出力信号※40～5VDC（負荷抵抗10kΩ以上）または4～20mA（負荷抵抗500Ω以下）デジタル通信RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定電源※5＋15VDC（±5%）100mA以下、−15VDC（±5%）150mA以下または＋24VDC（±10%）180mA以下（EX-250SMは全て100mA以下となります）継手1/4F900（標準）外寸法・重量W76×D30×H80mm・約500gW76×D30×H80mm・約440g※ご注文時は、※1対象ガス指定※2流量レンジ内で最大流量指定※3どちらか指定※4どちらか指定※5どちらか指定校正温度0℃、20℃、25℃より指定EX-250SCのみ使用圧力指定 （Ｈ）150〜300kPa （Ｌ）50〜149kPa※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。1043計測機器流量計・圧力計5FlowMeter,PressureGauge6流量計・圧力計電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ融点測定装置
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