原子間力顕微鏡 AFM 8(8)

Cat.No:C1051Aこのカタログの記載内容は2022年10月現在のものです。◦仕様および外観、価格は、改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。◦製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。◦価格には、消費税が含まれておりません。◦記載されている会社名、製品名およびロゴは、当社または各社の商標および登録商標です。注意筑波(029)852-3411川崎(044)540-3751北陸(076)443-8603＜国内営業・サービス拠点＞広州ケルン重慶西安上海東莞サンフランシスコ北京＜海外拠点＞お問い合わせは、信用とサービスの行き届いた当店へ北関東(048)642-2569横浜(045)828-1631京滋(075)343-7201千葉(043)241-7085厚木(046)224-6911関西(06)6101-3112札幌(011)204-6780東京(03)5548-7126長野(026)291-6001広島(082)221-0921仙台(022)216-5701東京北(03)5939-4761静岡(054)653-0510山口(083)974-4760前橋(027)280-4650東京西(042)352-3211名古屋(052)202-3051福岡(092)263-7550Copyright©YamatoScientificCo.,Ltd.AllRightsReserved.本社〒104-6136東京都中央区晴海1-8-11晴海トリトンスクエアY棟36階お客様総合サービスセンター●携帯電話からは0570−064−5250120-405-525●受付時間9:00〜12:00、13:00〜17:00土日祝除くヤマト科学ウェブサイトwww.yamato-net.co.jp● メールでのお問い合わせはヤマト科学ウェブサイトより受付しております仕様MFP-3Dシリーズ正確な低ノイズクローズドループスキャナX&Yレンジ：120µm;X&Yセンサー：≤0.6nmノイズ;Zレンジ：≥15µm(≥40µmオプション);Zセンサー：≤0.25nmノイズ低ノイズ、高帯域光学レバーカンチレバーデフレクション感度：サンプルによる光の反射からの干渉を大幅に低減するために、入射ビームは垂直に対して22°傾斜;光源：低コヒーレンス赤外光(860nm)スーパールミネッセントダイオード，FDA/IECクラス1M(安全);DC検出ノイズ：≤15pm高解像度システム性能DCハイトノイズ：≤50pm;ACハイトノイズ：≤50pmトップビュー光学系プローブ，IRSLDスポットおよびサンプルは、10倍の対物と2つの選択可能な視野、720µmおよび240µmをもつトップダウン明視野光学系を通して観察可能サンプルステージサンプルサイズ：最大径80mm;サンプル厚さ：最大10mm（オプションで最大27mm）防音および除振エンクロージャ標準のOriginおよびOrigin+の構成には、防音および除振のためのカスタムエンクロージャが含まれます。防振：パッシブメカニカル除振台が標準装備。圧縮空気不要。オプションでアクティブエレクトロニック除振台を利用可;防音：堅牢な高ダンプデザインにより、一般的な研究室で、効果的な音響ノイズ遮蔽を提供;人間工学設計：エンクロージャのドアはサイドにスイングして楽に開き、左開き・右開きのどちらにも設定できるため、さまざまな研究室の間取りに対応できます。調整用の小型アクセスウィンドウも装備。システムアップグレードオプションOriginからOrigin+へのアップグレードは、コントローラをARC2AFMcontrollerにアップグレードすることで簡単にできます。JupiterXRJupiterXRスキャナXYスキャンレンジ：Typ.100µmClosed-loop;XYセンサーノイズ：<150pm;スキャン速度：≥20Hz;スキャンレンジ：12µm;Zセンサーノイズ：<35pm;(XYスキャナおよびZスキャナ,チャックはモジュール形状のため、将来のオプション追加やアップグレードが容易)光てこ光学系光源種類：SLD(Super-Luminescent-Diode);スポットサイズ：約10µm（FS-1500,ArrowUHF,AC55などの小型カンチレバーに対応）;光源波長：680nm(公称値);DC検出ノイズ：<10pm;AC検出ノイズ：<30fmHz-½（100kHz以上）;検出器の帯域幅：DC ～ 7MHz;その他：光源のスポット位置および検出器位置の調整は、すべてソフトウェア上で制御可能[SpotOn™]blueDriveタッピングモードカンチレバー励振方式：光熱励振;光源波長：637nm;測定モード：ACタッピングモード（※DCコンタクトモードやフォースカーブをベースにした測定モードは対象外）;その他：光源のスポット位置および検出器位置の調整は、すべてソフトウェア上で制御でき、ピエゾ励振方式への切換えもソフト上で容易に可能。試料ステージ試料固定：真空ウエハチャックまたはマグネット（どちらも標準対応）;最大試料サイズ：Φ210mm×H35mm;ウエハチャック：2″,4″,5″,6″,8″ウエハ用に位置決めピンと真空リング;マグネット固定：中心およびΦ70mm,Φ100mm円周上にマグネット固定ポイントを配置（計8箇所);モーターステージ：200mmウエハ全域にアクセス可能，最大速度40mm/s環境ノイズ対策音響：エンクロージャー込み（消音性能~20dB）;振動：空気ばね式除振台（オプション：アクティブ除振台）測定モード(標準)Basic：ACタッピングモード（引力/斥力），位相イメージング，BimodalDualACタッピングモード，FM-AFM（FrequencyModulation：周波数変調），デジタルQコントロール，ナノリソグラフィー/マニピュレーション，DCコンタクトモード，水平力顕微鏡(LFM:LateralForceMicroscopy);機械特性（ナノメカニクス）：フォースカーブ，フォースマッピングモード（フォースボリューム），フォースモジュレーション，ロスタンジェントイメージングモード，AM-FM粘弾性マッピングモード，コンタクト共振粘弾性マッピングモード;電気特性，電気化学，その他：ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)，電気力顕微鏡(EFM)，磁気力顕微鏡(MFM)，ピエゾ応答力顕微鏡(PFM)，ベクトルPFM，スイッチングスペクトロスコピーPFM，Dual-AC共振トラッキング(DART)測定モード(オプション)走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM:ScanningCapacitanceMicroscopy)，高速フォースマッピングモード(FFM:FastForceMapping)，コンダクティブAFM（CAFM:通称ORCA™，Eclipse™），FFMベースによるCAFMイメージング性能DCハイトノイズ：<25pm;ACハイトノイズ：<25pmTop-View明視野光学系解像度：回折限界(<1.5µm),NA=0.30;視野：930×1240µm;照明：強度、開口絞り、視野絞りはソフトウェアで調整可能ソフトウェア用途に合わせて2種類のソフトを提供ERGO；EaseofUseを目的とした新インターフェース。初心者やルーチン測定に最適;Igor：従来ソフト。R&D向けで、細かな制御や解析が可能。アクセサリ（オプション）液中セル,加熱セル,加熱/冷却セル,引っ張りモジュール,磁場印加モジュールCypherシリーズスキャナX&Yレンジ：30µm(クローズドループ);X&Yセンサノイズ：≤60pm;面外モーション：≤3nm(全域);Zレンジ：≥5µm;Zセンサノイズ：≤50pm;サンプルサイズ：最大径15mm,厚さ7mmソフトウェア制御スティックスリップモーションを使用して、イメージングエリアを選択するためにサンプルを動かすことが可能;エンゲージプロセスユーザーがソフトウェア制御で、探針、サンプルの順にフォーカスし、おおよその探針-サンプル距離を決定。その後、エンゲージのための自動モータライズプロセスが、素早く、探針にダメージを与えることなく実行されます。カンチレバーのデフレクション検出4つのモジュールが利用可能(別途購入)標準レーザーモジュール:スポットサイズ10×30µm(公称値)の変調レーザーダイオード光源。ほぼすべてのイメージングアプリケーションに対して推奨;標準SLDモジュール:スポットサイズ10×30µm(公称値)のスーパールミネッセントダイオード（SLD）光源。コンタクトモードやフォースカーブ測定に;レーザーダイオード微小スポットモジュール:スポットサイズ3×9µm(公称値)の変調レーザーダイオード光源。微小カンチレバーを用いたほぼすべてのイメージングアプリケーションに必須;SLD微小スポットモジュール:スポットサイズ3×9µm(公称値)のスーパールミネッセントダイオード（SLD）光源。微小カンチレバーを用いたコンタクトモードやフォースカーブ測定に対して推奨;波長：850nm;DC検出ノイズ：≤10pm;AC検出ノイズ：≤25fmHz-½(100kHz以上);検出器の帯域幅：DCから7MHzトップビュー明視野光学系解像度：回折限界(≤1µm),NA=0.45;視野：690×920µm;照明：強度はソフトウェア制御。開口と視野絞りは手動制御イメージング性能DCハイトノイズ：≤15pm;ACハイトノイズ：≤15pm;XYドリフト：≤200nm/℃ラボの温度で変化。オプションの温度制御モジュールはこれを≤20nm/℃まで低減装置のアイソレーション振動：内蔵パッシブ除振台のみ使用時は1mm/s²床振動加速度に対して、≤10pmのデフレクションノイズ。通常の実験室では追加の除振台は不要;音響：エンクロージャに含まれており、20dBの防音を提供標準装備の操作モードコンタクトモード,水平力モード,タッピングモード（ACモード）,周波数変調,位相イメージング,デジタルQコントロール;DualAC™,デュアルAC共振トラッキング（DART™）,MicroAngelo™(ナノリソグラフィ／ナノマニピュレーション）,電気力顕微鏡（EFM）,ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）,磁気力顕微鏡（MFM）,圧電応答顕微鏡（PFM）,DART™PFM,ベクトルPFM,スイッチングスペクトロスコピーPFM,フォースカーブモード,フォースマッピングモード（フォースボリューム）,フォースモジュレーション,ロスタンジェントイメージングオプション操作モードAM-FM粘弾性マッピングモード,コンタクト共振粘弾性マッピングモード,高速フォースマッピングモード,ORCA™およびEclipse™モードを使用したコンダクティブAFM（CAFM）,高速フォースマッピングモードによる電流マッピング,ナノスケール絶縁膜経時破壊（nanoTDDB）,高電圧PFM,電気化学ストレイン顕微鏡（ESM）,走査型トンネル顕微鏡（STM）その他のオプション・アクセサリblueDrive光熱励振：CypherSおよびCypherESの両方で利用可能。CypherS用液中カンチレバーホルダ：液中測定用の低蒸発チャンバーを提供;CypherES用環境制御アクセサリ：特定の構成についてはお問い合わせください;CypherES用電気化学セル