プラズマ装置 総合カタログ 10-11(10-11)

10大容量バレル型装置PB600/1000｜大容量平行平板型装置V1000大容量バレル型装置【主な仕様】◎外寸法：W600×D800×H800mm（突起部含まず）◎重さ：約80kg価格は別途、お問い合わせください。PB600大容量バレル型装置【主な仕様】◎外寸法：W690×D900×H1700mm（突起部含まず）◎重さ：約250kg価格は別途、お問い合わせください。PB1000大容量平行平板型装置【主な仕様】◎外寸法：W700×D800×H1600mm（突起部含まず）◎重さ：約300kg価格は別途、お問い合わせください。V1000型式PB600PB1000商品コード215050215051プラズマモードDP電極構造対向電極方式（分割方式）高周波出力60～常用500w連続可変100〜1000W連続可変発振周波数13.56MHzチャンバー内寸法φ250×400mmφ350×500mm反応ガスO2、CF4他パージガスN2/ドライエアー等流量計2系統マスフローコントローラ必要流量約300L/min約1000L/min外寸法※2W600×D800×H800mmW690×D900×H1700mm電源三相　200V　20A三相　200V　30A重さ※2約90kg約250kg価格（税抜）お問い合わせください。大型バレルタイプ、半導体プロセスに最適お客様の持つサンプルサイズや処理量に応じてチャンバーの大きさや処理方法をカスタマイズいたします。仕様（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。電源プラグは付属しません。電源欄の（　）はブレーカ容量および電源設備容量です。※外寸法は突起部含まず。大容量平行平板型でクリーニングからエッチング処理までRF電源1000Wで大量処理可能な平行平板型装置。DP/RIE自動切り替え機構を搭載。サンプルに応じて幅広いカスタマイズが可能です。●真空ポンプは、油回転式を標準として付属していますが、オプションとしてドライ式ポンプなどもご用意いたします。型式V1000商品コード328212プラズマモードDP/RIE高周波電源13.56MHz出力（MAX）1000W電極有効ステージ寸法幅280×奥行280mm平行平板反応ガスマスフローコントロール2系統（パージガス系別途付き）真空ポンプ（標準装備）約1000L/min安全装置ドアSW、側板インターロック、非常停止SW、温度過昇防止器価格（税抜）お問い合わせください。仕様（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。※外寸法は突起部含まず。PB1000PB600※ 画像は開発中のものです。実際の商品と仕様が異なる場合があります。※ 画像は開発中のものです。実際の商品と仕様が異なる場合があります。