プラズマ装置 総合カタログ 8-9(8-9)

09小型卓上高周波プラズマで表面改質からクリーニングまで小型プラズマ装置（高周波）【主な仕様】◎外寸法：W350×D400×H500mm（突起部含まず）◎重さ：約25kg価格¥2,321,000（税抜）PR200Φ100×160の小型バレルチャンバーに13.56MHzの高周波出力と最大出力200WのRF電源でサンプル表面の改質、アッシング、クリーニングなど幅広い処理に対応できます。コンパクトなフットプリントで使いやすい実験空間を提供します。仕様型式PR200商品コ−ド215016方式DP方式バレル型制御部高周波出力Max.200W発振周波数13.56MHz同調方式オートマッチング反応部反応槽パイレックス　φ100×L160mm反応ガス系1系統（酸素）フローメータ制御系手動リークバルブ配管系材質SUS、テフロン外寸法/重さW350×D400×H500mm/約25kg電源（50/60Hz）AC100V　15A付属品試料棚価格（税抜）¥2,321,000（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。電源欄の（　）はブレーカ容量および電源設備容量です。※外寸法は突起部含まず。大気中に含まれるアスベスト分析の低温灰化処理にアプリケーション紹介酸素プラズマにより試料中の有機物を酸素と反応させ除去し、アスベストを含む無機化合物だけにすることで、精度の高い分析が可能になります。構成例型式・品名価格（税抜）PR200¥2,321,000PK110G¥768,000配管セットC¥29,200電源ケーブル¥2,100合計金額（税抜）¥3,120,300処理例試料：メンブレンフィルターガス：O2100cc/min出力：70W照射時間：30分水分や腐食性ガスを含むバキュームに最適オプション（本体に電源コードは付属していません。下記、電源コードも合わせてご購入ください。）型式PK110G商品コード242305方式非接触ルーツ多段式最大排気速度※1110L/min到達圧力（ガスバラスト閉時）5Pa到達圧力（ガスバラスト開時）35Pa最大水蒸気処理量※2135g/h電気定格出力0.5kW付属品サイレンサー、ガスバラスト弁（電源コードは付属していません）接続口径（吸気口/排気口）NW25/NW25電源　定格電流100V外寸法W196×D360×H196mm重さ19kg価格（税抜）￥768,000（注）上記価格に消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。※1.ガスバラスト機構未使用時の数値です。※2.ガスバラストバルブ（オプション仕様)開時の最大処理量です。（注）海外規格対応についてはお問い合わせください。（注）ガスの条件により腐敗する可能性があります。ご相談ください。空冷式ドライ真空ポンプ【主な仕様】◎外寸法：W196×D360×H196mm（突起部含まず）◎重さ：19kg価格¥768,000（税抜）PK110G構成例で紹介した真空ポンプ品名型式商品コード価格（税抜）電源コード100V用（PK-Gシリーズ）PK-G100V242315¥2,100電源コード200V単相用（PK-Gシリーズ）＊PK-G200V242316¥2,100＊電源コードの１次側は丸端子止めとなります。