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06バレル型プラズマ処理装置PR500/510仕様型式PR500（フローメータ仕様）PR510（マスフローメータ仕様）商品コ−ド215007215012方式DP方式バレル型制御部高周波出力Max.500W発振周波数13.56MHz同調方式オートチューニング反応部反応槽石英製φ215×305mm反応ガス系2系統（O2/CF4）制御系手動タッチパネルからの自動シーケンス配管系材質SUS、テフロン外寸法/重さW438×D520×H760mm/約60kg仕様書をご参照ください。電源（50/60Hz）AC100V9A（15A）AC200V三相8A（15A）価格（税抜）¥6,510,000¥8,600,000（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。電源欄の（ ）はブレーカ容量および電源設備容量です。※外寸法は突起部含まず。6inchウェハ処理可能、低温プラズマ、バレル型の定番装置卓上型バレルタイプ【主な仕様】◎外寸法：W438×D520×H760mm（突起部含まず）◎重さ：約60kg価格¥6,510,000（税抜）PR500低温プラズマによる研究開発用バレル型プラズマ処理装置です。ガス流量の調節にはフローメーターを使用。シンプルな機構と使用者に配慮したボタン配置で単純な使いやすさを追求しました。反応槽には、φ215×305mmの石英チャンバーを装備しています。6inchウェハまで処理可能です。アッシング処理中のウェハの様子チャンバーの様子タッチパネルで簡単操作、マスフローメーター搭載卓上型バレルタイプ【主な仕様】◎外寸法：W520×D630×H760mm（突起部含まず）◎重さ：約70kg価格¥8,600,000（税抜）PR510定番型のPR500にタッチパネルとマスフローメーターを搭載しワンタッチで自動シーケンスでの処理が可能に。操作性と利便性を高めたバレル型プラズマ処理装置です。バッチ式の生産機としての導入実績もあります。タッチパネル画像※ 画像は開発中のものです。実際の商品と仕様が異なる場合があります。
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07サンプルにあった架台を作成することでより効率的にサンプル処理が可能です。治具・架台の作成Siウェハのレジスト膜除去に処理例構成例アプリケーション紹介バレル型プラズマ装置で処理することによって複数枚のウェハを同時に処理可能です。専用のガラス架台を作成することでより効率的にレジスト膜を除去します。処理中のウェハの様子型式・品名価格（税抜）PR500¥6,510,000PK250G¥944,000電源コード2m¥2,100配管セットE¥35,200合計金額（税抜）¥7,491,300試料：3inchウェハガス：O2100cc/min出力：300W照射時間：15分①②③①試料皿（小）②試料皿（大）③試料棚多目的アングル架台作成例ウェハ対応架台作成例水分や腐食性ガスを含むバキュームに最適オプション（本体に電源コードは付属していません。下記、電源コードも合わせてご購入ください。）型式PK250G商品コード242306方式非接触ルーツ多段式最大排気速度※1250L/min到達圧力（ガスバラスト閉時）1.0Pa到達圧力（ガスバラスト開時）10Pa最大水蒸気処理量※2275g/h電気定格出力0.8kW付属品サイレンサー、ガスバラスト弁（電源コードは付属していません）接続口径（吸気口/排気口）NW25/NW25電源 定格電流100V外寸法W210×D385×H219mm重さ22kg価格（税抜）￥944,000（注）上記価格に消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。※1.ガスバラスト機構未使用時の数値です。※2.ガスバラストバルブ（オプション仕様)開時の最大処理量です。（注）海外規格対応についてはお問い合わせください。（注）ガスの条件により腐敗する可能性があります。ご相談ください。空冷式ドライ真空ポンプ【主な仕様】◎外寸法：W210×D385×H219mm（突起部含まず）◎重さ：22kg価格¥944,000（税抜）PK250G構成例で紹介した真空ポンプ品名型式商品コード価格（税抜）電源コード100V用（PK-Gシリーズ）PK-G100V242315¥2,100電源コード200V単相用（PK-Gシリーズ）＊PK-G200V242316¥2,100＊電源コードの１次側は丸端子止めとなります。
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