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04平行平板型標準機 PDCシリーズ仕様型式PDC200PDC210PDC510商品コード328210328211215054プラズマモードRIE（DPモードオプション）RIE/DP電極構造平行平板（電極間固定）高周波出力MAX.300WMAX.500W発振周波数13.56MHz 水晶発振制御・表示（計器）液晶タッチパネルチャンバー寸法W400×D250×H150mmW500×D300×H200mmステージ寸法W250×D170mmW410×D210mmチャンバー材質アルミ製反応ガス2系統（アルゴン、酸素）パージガス窒素、またはドライエア反応ガス流量制御フローメータマスフローコントローラ真空ポンプ別途ご用意くださいロータリー真空ポンプ（約345L/分）標準装備ロータリー真空ポンプ（約500L/分）標準装備ガス導入口反応ガス2個、パージ1個外寸法/重さW540×D600×H600mm/約100kgW540×D600×H600mm/約105kgW700×D700×H1285mm/約180kg電源単相AC100V50/60Hz10A（15A）三相AC200V50/60Hz6A（16A）三相AC200V8A（16A）価格（税抜）¥7,280,000¥8,820,000¥10,920,000（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。電源プラグは付属しません。電源欄の（ ）はブレーカ容量および電源設備容量です。※外寸法は突起部含まず。卓上型で使いやすい卓上型平行平板タイプ【主な仕様】◎外寸法：W540×D600×H600mm（突起部含まず）◎重さ：約100kg価格¥7,280,000（税抜）PDC200高性能な卓上型卓上型高性能タイプ【主な仕様】◎外寸法：W540×D600×H600mm（突起部含まず）◎重さ：約105kg価格¥8,820,000（税抜）PDC210A4サイズも入る大容量タイプA4サイズも入る大容量タイプ【主な仕様】◎外寸法：W700×D700×H1285mm（突起部含まず）◎重さ：約180kg価格¥10,920,000（税抜）PDC510構成図電子酸素分子二酸化炭素石英架台酸素原子（イオン）灰化物ウエーハ等切替器DPRIEマッチングBOXDPモード（PDC510標準装備）（PDC200/210オプション）電子Arイオン無機物Siウエーハ等切替器マッチングBOXRIEモード電子酸素分子二酸化炭素石英架台酸素原子（イオン）灰化物ウエーハ等切替器DPRIEマッチングBOXDPモード（PDC510標準装備）（PDC200/210オプション）電子Arイオン無機物Siウエーハ等切替器マッチングBOXRIEモード処理方法に応じてモード切り替えが可能です。● DPモード 酸素プラズマを発生させて有機物などを処理することが得意● RIEモード アルゴン分子などを加速させて物理的に処理することが得意DP/RIEモードの切替（PDC510標準装備、PDC200/210オプション）液晶タッチパネルで簡単操作可能な平行平板型の標準機。250×170mmのステージに300Wの高周波電源を搭載。研究開発に最適な卓上モデル。PDC200のステージをそのままに、500Wの高周波電源を搭載。流量調整にはマスフローメーターを使用し、バッチ式の生産機としても使用可能。PDC210のステージサイズを拡張し、A4サイズのチャンバーとDP/RIEモード切替機能を標準搭載。より多くの処理方法が可能となった高性能汎用モデル。
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05ステージ寸法が処理可能な大きさになります。PDCシリーズの処理範囲と処理可能なサンプルサイズについて処理可能なサイズ（チャンバー容量）処理範囲（ステージ寸法）◎ PDC510 チャンバー寸法（mm） W500×D300×H200◎ PDC200/210 チャンバー寸法（mm） W400×D250×H150◎ PDC510 ステージ寸法（mm） W410×D210◎ PDC200/210 ステージ寸法（mm） W250×D170ワイヤボンディング前処理処理例構成例アプリケーション紹介金パッド部分にプラズマ前処理することによってワイヤボンディング時の接着性が向上します。生産工程にプラズマ処理を取り入れることで歩留まりの改善が見込まれます。水分や腐食性ガスを含むバキュームに最適型式NeoDry36E方式非接触ルーツ多段式最大排気速度※1600L/min到達圧力（ガスバラスト閉時）1.0Pa到達圧力（ガスバラスト開時）10Pa最大水蒸気処理量※2350g/h電気定格出力0.75kW接続口径（吸気口/排気口）NW40/NW25電源定格電流（50/60Hz）単相AC100〜120V、単相AC200〜240V、３相AC200〜240V外寸法W298×D475×H275mm重さ54kg価格（税抜）￥1,166,000（注）上記価格に消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。※1.ガスバラスト機構未使用時の数値です。※2.ガスバラストバルブ（オプション仕様)開時の最大処理量です。※3.サイレンサー、電源コード３ｍ、ガスバラスト弁、特殊フッ素シールはオプションになります。（注）海外規格対応についてはお問い合わせください。（注）ガスの条件により腐敗する可能性があります。ご相談ください。型式・品名価格（税抜）PDC200¥7,280,000NeoDry36E¥1,166,000サイレンサー¥40,000電源コード3m¥15,000ガスバラスト弁¥22,000配管セットE¥35,200NW40センターリング¥2,500NW40クランプ¥2,500NW25/40変換ニップル¥15,400合計金額（税抜）¥8,578,600試料：ガラエポ基板ガス：Ar15cc/min出力：300W照射時間：30秒小型空冷式ドライ真空ポンプ【主な仕様】◎外寸法：W298×D475×H275mm（突起部含まず）◎重さ：54kg価格¥1,166,000（税抜）NeoDry36E構成例で紹介した真空ポンプワイヤボンディングイメージ実装されたIC(左図)とX線透過による内部のワイヤ(右図)
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